為了在操作中盡量削減人活動發生的污染，人員在進入無塵區之前，有必要替換無塵服并洗手、消毒、過風淋。這些措施即;人員凈化。人員凈化用房中替換無塵服的房間應予送風，并對進口側等其他房間堅持正壓，對廁所、淋浴堅持少量正壓，而廁所、淋浴應堅持負壓。各種物件在送入無塵區前有必要通過凈化處理，簡稱;物凈。物料凈化道路與人凈道路應分隔，如果物料與人員只能在同一處進入無塵車間，也有必要分門而入，物料先通過粗凈化處理。在體系規劃上，物凈用房的粗凈化和精凈化階段由于會吹落很多生微粒，所以相對無塵區應堅持負壓或零壓，如果污染危險性大則對進口方向也要堅持負壓。